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半導(dǎo)體工藝廢氣處理方法有哪些?

2021-11-24 15:58:23

半導(dǎo)體工藝廢氣處理方法有哪些?廢氣處理可謂是很多工廠老生常談的話題了,同時(shí)對(duì)于部分特殊的廢氣,國(guó)家也有相關(guān)法律要求強(qiáng)制處理。廢氣處理既是保護(hù)我們居住的環(huán)境,同時(shí)也減少了對(duì)人類身體健康的危害。小編今天就和大家一起聊聊幾種半導(dǎo)體工藝廢氣處理方法。

一、半導(dǎo)體酸堿廢氣處理方法

半導(dǎo)體行業(yè)酸堿廢氣處理通常采用液體噴淋法,又稱化學(xué)洗滌法。因液體自身具有的溶解特性,可以更好地捕捉沉降,溶解去除污染物,而達(dá)到大氣排放標(biāo)準(zhǔn),故噴淋法是半導(dǎo)體行業(yè)酸堿廢氣治理普遍采用的主要處理方法。


二、半導(dǎo)體有機(jī)廢氣處理方法

半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣處理方法,通常先用沸石轉(zhuǎn)輪對(duì)VOCs進(jìn)行吸附濃縮之后,再用直接燃燒法進(jìn)行銷毀,廢氣凈化率達(dá)到97%以上。


三、直接燃燒

直接燃燒又稱為直接火焰燃燒,它是把VOCs可燃組分直接燒掉,因此該方法適用于凈化可燃有害組分濃度較高的廢氣,或者凈化有害組分燃燒時(shí)熱值較高的廢氣;多種可燃?xì)怏w或多種溶劑蒸氣混合在廢氣中,只要濃度值適宜,也可以直接燃燒。如果可燃組分的濃度高于燃燒上限,可以混入空氣后燃燒;如果可燃組分的濃度低于燃燒下限,則可以加入一定數(shù)量的輔助燃料如天然氣等,維持燃燒。




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